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DataRay 的 BeamMap2 代表了一種 不同的實時波束輪廓分析方法。它擴展了 Beam'R2 的測量功能,允許在光束行程的多個位置進行測量。這種實時掃描狹縫系統(tǒng)在旋轉(zhuǎn)圓盤上的多個 Z 平面上使用 XY 狹縫對,同時測量四個不同 Z 位置的四個光束輪廓。BeamMap2 的設計在實時測量焦點位置、M2、光束發(fā)散度和指向方面有利。
與標準 BeamMap2 相比,BeamMap2 Collimate 經(jīng)過專門設計,平面間距顯著增加 5 mm,適用于準直良好的光束。
特點
多種檢測器選項,范圍為 190 至 2500 nm
190 至 1150 nm,硅探測器
650 至 1800 nm,InGaAs 探測器
1800 至 2300/2500 nm,InGaAs(擴展)探測器
符合 ISO 標準的光束直徑測量
端口供電的 USB 2.0
自動增益功能
用于符合 ISO 11146 標準的 M2 測量的可選載物臺附件
True2D™ 狹縫
分辨率達 0.1 μm
5 Hz 更新速率(可調(diào) 2 至 10 Hz)
剖面 CW/準連續(xù)波光束
光束直徑 5 μm 至 4 mm
XYZ 輪廓,加上 θ-Φ
對焦位置和直徑
實時 M2、指向和發(fā)散測量
以 ±1 μm 的重復精度識別焦點(取決于光束)
應用實例
非常小的激光束輪廓
光學組件和儀器對準
OEM 集成
鏡頭焦距測試
實時診斷對焦和對準誤差
將多個裝配體實時設置為同一焦點
M2 測量,提供 M2DU 載物臺
True2D™ 狹縫
藍寶石襯底上的 0.4 μm 厚金屬多層薄膜
與氣縫相比,具有多種優(yōu)勢
避免隧道效應
氣縫通常比寬深,并且在高輻照度下會彎曲
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